电离真空计是一种真空测量仪器，其基于以下原理：待测气体的压力与在某些条件下由气体电离产生的离子电流成比例。

它由圆柱形收集器，网格和位于网格中心的灯丝组成。

圆柱形收集器位于网格外部。

热阴极发射电子以使气体分子电离，并且离子被收集器收集，并且根据收集的离子电流的大小测量气体压力的量表。

在低压强气体中，由气体分子的电离产生的正离子的数量与气体压力成比例。

电离真空计是一种真空测量仪器，其基于以下原理：待测气体的压力与在某些条件下由气体电离产生的离子电流成比例。

根据离子产生方法，使用热阴极发射电子以电离气体的真空计称为热阴极电离真空计;其中热阴极电离计由热阴极计和测量仪器组成。

测量仪器由调节工作电源，发射电流调节器，离子电流测量放大器等组成。

热阴极电离计与被测真空系统连通。

热阴极电离计是具有阴极，栅极和集电极的三极管。

集电极电位相对于阴极电负电位;栅极相对于阴极是电正的。

当电离计通电并加热时，阴极发射电子，当电子到达栅格时，它们与气体分子碰撞，产生正离子和电子的电离。

当发射电流恒定时，正离子的数量与待测气体的压力成比例。

在通过收集器收集正离子之后，通过测量电路放大它们，并且可以通过仪表读取待测量的真空度。

热阴极电离计类似于三极管，如图a所示，由圆柱形板（离子收集器）C，栅格G和位于栅格中心的阴极灯丝F组成。

在阳极栅格外面。

图b是其外部控制电路，栅极电位在+ 100~ + 300V之间，而极板的电位在0~-50V之间。

当阴极灯丝F通电和加热时，发射电子。

由于阳极栅极G为正电压，发射的电子加速，电子与内部气体分子碰撞，使气体分子电离，气体压力强，气体密度大。

碰撞机会越多，产生的正离子就越多。

正离子在圆柱形板的负电压的作用下吸引正离子以形成板电流。

气体分子的密度越大（即，压力越大），板电流越大，反之亦然。

板电流与测量范围内的测量压力成比例。

在真空系统暴露于大气之后，电离计玻璃泡和电极表面将吸附大量气体。

在真空环境中，气体再次释放，这会影响传感精度。

为消除这种影响，调节器必须在测量前脱气。

电离计的脱气采用烘烤方法，即灯丝和栅格可以分别通电和加热，并对板进行高频感应加热或电子轰击，以便在测量前释放气体。

通常，电离真空计具有脱气功能。

当真空度大于1×10 ^ -2Pa时，根据说明将电离计脱气。

该仪表主要用于测量高真空。

电离真空计是：热阴极电离真空计，冷阴极电离真空计和放射性电离真空计。

电离真空计校准的注意事项真空规可按测量属性分为绝对压力表和相对压力表。

所谓的绝对真空计是一种真空计，它通过测量物理量本身来确定压力。

例如，u型压力计和压缩真空计是绝对真空计。

通过测量与压力相关的物理量并将其与绝对真空计相比较来确定压力的真空计被称为相对真空计。

我们的校准电离真空计，电容薄膜真空计和导热真空计都是相对真空计。

电离计的结构是具有三个电极的圆柱形晶体管：阴极f发射电子;栅极a加速电子，集电极c收集离子。

通常，阴极施加零电位，栅极带正电，集电极带负电位。

它的主要优点是能够测量气体和蒸汽的全压力;快速响应，连续读取和远程控制;范围广，线性度好，测量精度高。

缺点主要是当压力高于10-1pa时，灯丝很容易被氧化，一旦系统突然暴露在大气中，调节就会烧坏;玻璃灯泡和电极的通风会导致测量误差。

（1）正常情况下，当调节和系统连接时，首先连接未开启的调节和测量电路一起尝试，检查调节是否正常，然后连接到系统。

（2）在校准过程中，如果出现故障，如果原因未知，请采取未开启的规定，并尝试判断是否存在监管问题或电路问题。

如果未开放监管的正常化是正常的，则意味着原始监管存在问题;如果未开启的调节仍然不正常，则表明电路存在问题，从而缩小了故障范围。

（3）安装调节时应垂直安装。

否则，网格和阴极在加热和脱气过程中会发生变形，相对位置会发生变化，严重影响测量精度。

（4）在灯丝打开之前，判断被测真空系统的真空度小于10-1pa，灯丝可以开启，否则真空度太低，导致阴极被氧化和燃烧。

（5）在读数之前，应首先调整发射电流，零点和满量程。

具体步骤是：发射电流 - 零 - 充满度 - 发射电流。

（6）电离真空计只需预热10分钟即可校准。